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為什么電子半導體行業要用超純水設備


在光伏、半導體行業電子管生產中,光伏行業電子管陰極涂甫碳酸鹽。如其使用的水中混入雜質,就會影響電子的發射,進而影響電子管的放大性能及壽命,因此其配液要使用超純水。在電器行業當中最易出現的危險就是漏電,工業上是少不了電器電容的,而且鋁箔及其元器件當中的清洗也是需要使用超純水(去離子水)的,要是水中含有了氯離子,電容器是會出現漏電的。


在顯像管和陰極射線管生產中,其螢光屏內壁用噴涂法或沉淀法附著一層螢光物質,是鋅或其他金屬的硫化物組成的螢火粉顆粒并用硅酸鉀粘合而成,其配置需要使用超純水,如超純水中含銅在8ppb以上,就會引起發光變色,;含鐵在50ppb以上就會使發光變色、變暗、閃動并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品。在黑白顯像管螢光屏生產的12個工序中,破殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗等5個工序需使用純水,每生產一個晶體管需高純水80kg。液晶顯示器的屏面需有純水清洗和用純水配液,如純水中有金屬離子、微生物、微粒等雜質,,就會使液晶顯示電路發生故障,影響液晶屏質量,導致報廢、次品。顯像管、液晶顯示器生產對純水水質的要求。


在光伏行業晶體管、集成電路生產中,純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路的產品質量及生產成品率關系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結耐壓降低,B、AL、Ga等會使N型半導體特性惡化,水中細菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會使P型硅片上的局部區域變化為N型硅而導致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。


那么影響電子半導體行業超純水品質又有哪些呢?


1、水源的影響


由于水是一種溶解能力很強的溶劑,因此天然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2,還有膠體(包括硅膠和腐殖質膠體),天然水中還存在大量的非溶解性質,包括粘土、砂石、細菌、微生物、藻類、熱源等。


2、材料的影響


制備超純水的材料設備的材質都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會有痕量溶解,造成金屬離子污染。一些高分子材料,在合成時常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑,也引入大量的金屬、非金屬雜質,同時還會帶來有機污染。材質的污染主要以污染值來衡量。所謂污染值是指:單位面積的材料使單位體積的純水電阻率的增加值。


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